Поделиться:
на 2024/04/19
Intel завершает сборку первой коммерческой литографической машины с высокой численной апертурой EUV
Гигант полупроводника Intel объявила 18-го числа, что завершила сборку первой в отрасли коммерческой литографической машины с высокой численной апертурой экстремальной ультрафиолетовой (высокой NA EUV) в своем центре исследований и разработок в Орегоне.
Производитель оборудования для полупроводникового оборудования ASML разместил фотографии на социальной платформе X в конце прошлого года, показывая начало доставки основных частей первой системы EUV с высокой численностью в Intel.Теперь Intel объявила, что завершила сборку, демонстрируя четкое намерение возглавить своих конкурентов.
После разработки 5 узлов процесса за 4 года и ожидания наиболее продвинутого процесса Intel 18A, Intel планирует официально ввести использование высокого численного апертуру EUV в своем процессе Intel 14A в будущем.По оценкам аналитиков, цена этого высокого численного устройства EUV Aperture составила приблизительно 250 миллионов евро.
Недавно Intel показала, что он разработает процесс 14A и процесс Intel 14A-E до 2027 года.
Intel подчеркивает, что устройство EUV с высокой численной апертурой EUV Exe: 5000 в настоящее время подвергается калибровке, и, как ожидается, это устройство в сочетании с другими технологиями на фабрике пластинки компании будет производить функции в 1,7 раза меньше, чем существующие устройства EUV.
Между тем, Intel упомянула, что компания также планирует приобрести систему Twinscan Exe: 5200b следующего поколения в будущем.