Поделиться:
на 2024/05/17
Sumitomo Heavy Industries запустит ионные имплантационные машины в Японии
Согласно сообщению иностранных СМИ, дочерняя компания Sumitomo Heavy Industries, ионная технология Sumitomo, выпустит ионные машины для имплантации для полупроводников кремниевого карбида (SIC) на рынке уже в 2025 году.
Большая часть оборудования, используемого в процессе SIC, такая же, как и традиционные производственные линии кремния, но из-за высокой твердости SIC требуется специальное производственное оборудование, такое как высокотемпературные ионные машины ионной имплантации, карбоновая пленка, машины, массовое производство высокое-Температурные отжигающие печи и т. Д. Среди них наличие высокотемпературных ионных имплантационных машин является важным критерием для измерения производственных линий SIC.
Согласно отчету, ионное имплантационное оборудование вводит ионы примесей, такие как фосфор и бор в пластин, чтобы изменить свои электрические свойства.Для кремниевых пластинок термообработка выполняется после ионной имплантации для восстановления кристалличности.Однако для SIC трудно восстановить кристалличность исключительно через термообработку после ионной имплантации.Обычный метод состоит в том, чтобы нагреть чип SIC примерно до 500 градусов по Цельсию, а затем выполнить ионную имплантацию и термообработку.Из -за сложного рабочего процесса полупроводники SIC имеют проблему более низкого урожая, чем кремниевые полупроводники.
На этот раз, Sumitomo Heavy Industries Ion Technology планирует улучшить метод ионной имплантации своих выпущенных продуктов, сохраняя при этом качество SIC и увеличение производства.
Из -за таких факторов, как высокая техническая трудность и сложная проверка процессов, существуют высокие конкурентные барьеры и высокая концентрация в отрасли в индустрии ионных имплантационных машин.В целом, весь рынок в основном монополизируется американской компанией Applied Materials и американской компанией Axcelis, что составляет более 70% мирового рынка.
Последние данные от Trendforce Consulting показывают, что SIC все еще ускоряет свое проникновение на рынках приложения, таких как автомобили и возобновляемая энергия, где плотность мощности и эффективность чрезвычайно важны.Общий рыночный спрос будет поддерживать тенденцию к росту в ближайшие годы, и, по оценкам, глобальный размер рынка силовых устройств SIC, как ожидается, достигнет 9,17 миллиарда долларов США в 2028 году.